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快速退火爐的硬件更換
發(fā)布時間：
2023/09/04 20:15
快速退火爐采用先進的微電腦控制系統(tǒng)和PID閉環(huán)控溫，可達到較高的控溫精度和溫度均勻性，并可根據(jù)用戶工藝要求配備真空室或多路氣體。快速退火爐采用鹵素紅外線燈作為熱源，通過較快的升溫速度將晶圓或材料快速加熱至300°C-1200°C，從而晶圓或材料的部分缺陷，提高產(chǎn)品性能。快速退火爐（芯片熱處理設(shè)備）廣泛應用于IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導體、功率器件等各種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)，以及接觸的快速合金化、離子注入退火、氧化物生長、應力 浮雕在致密化、致密化等工藝中，采用快速熱處理來改善晶體結(jié)構(gòu)和光電性能，技術(shù)指標高，工藝復雜，特異性強。快速退火爐硬件更換1、加熱燈更換：加熱燈超過使用壽命或不亮需要更換。 加熱燈的使用壽命為，在高溫下其使用壽命會降低。2、真空泵油更換：使用過程中，請每季度觀察一次真空油表。 當油量表顯示油量小于1/3時，請將真空泵潤滑油加到油量表的一半以上。3、熱電偶更換：測溫異常或損壞時需要更換熱電偶。 熱電偶的正常使用壽命為3個月，其使用壽命因環(huán)境因素而縮短。4、更換O型圈：O型圈表面有明顯損壞或不能密封時，需要更換O型圈。 其使用壽命受外力和溫度因素的影響。
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